Ferðasvið
20 mm
Upplausn
0,125μm
Endurtekningarhæfni
<1μm
Réttleiki
<2μm
Hliðstæður
<5μm
Pitching
10"(50μrad)
Geisp
Hámarkshraði
5 mm/sek
Hleðslugeta
10 kg
Þyngd
1,5 kg